Delovna temperatura difuzijske peči je na splošno od sto stopinj do tisoč stopinj, temperaturo peči pa je treba vzdrževati toplo do določenega časa v določenem nadzornem območju, krivulja difuzijskega procesa pa je večstopenjska. Temperatura ima odločilen vpliv na procesne parametre difuzijske peči, zato natančnost nadzora temperature neposredno vpliva na kakovost izdelka in tudi na učinkovitost proizvodnje difuzijske peči.
Difuzijska peč je v bistvu peč za uporovno ogrevanje in obstajata dva glavna dejavnika, ki vplivata na njeno natančnost nadzora temperature. Prvič, termočlen z nadzorovano temperaturo difuzijske peči se uporablja dolgo časa, kar je enostavno povzročiti napake; Drugič, metode nadzora temperature difuzijske peči so običajno regulirane z analognimi in digitalnimi instrumenti za prilagajanje ali z mikrokrmilnikom in PLC za nadzor temperature peči, vendar imajo te metode nadzora nekaj inherentnih pomanjkljivosti, ki vodijo do napak. Da bi zmanjšali zgornji dve napaki, izboljšali doslednost parametrov elektronske naprave in izkoristek izdelka, je treba difuzijsko peč redno testirati in kalibrirati.
Skupna temperatura difuzijske peči je med 400 ~ 1200 stopinjami in uporabljamo termočlen tipa S, za katerega so značilne stabilne termoelektrične lastnosti in močna odpornost proti oksidaciji, ki ga je treba uporabljati v oksidacijskih ali inertnih atmosferah. Da bi dodatno zagotovili točnost merilnih podatkov, se uporabljeni termočlen tipa S enkrat preveri pred in po uporabi, njegova povprečna vrednost pa se vzame za popravek izmerjene vrednosti temperature peči.
Pri merjenju dolžine cone konstantne temperature in parametrov točnosti konstantne temperature je sprejeta metoda enkratnega merjenja v enem samem celotnem procesu in povezan je merilni sistem. Ko se temperatura peči dvigne na temperaturo, določeno s postopkom, in je stabilna, se delovni konec termočlena premakne vzdolž osi v cevi peči, da se izmeri temperaturna vrednost vsake točke v temperaturnem območju. Ko premikate termočlen, uporabite merilni trak, da izmerite razdaljo, ki jo termočlen premakne na vsakih 10 cm, termočlen pa se mora premikati s hitrostjo manjšo ali enako 2 cm na minuto. Pri merjenju vrednosti temperature se vsaka točka meri 5 minut, celoten proces pa se meri naenkrat, podatki, izmerjeni od znotraj navzven, pa se vzamejo kot osnova za ocenjevanje, izvirni zapis pa se zabeleži.